将测量一个零件所需要的全部操作按照其执行顺序编程，以文件形式存入磁盘，测量时按运行程序控制三坐标测量机自动测量。该方法称为三坐标测量机的程序测量方法，适用于成批零件的重复测量。零件测量程序的结构一般包括以下内容：

（1）程序初始化。如指定文件名、存储器置零、对不同于缺省条件的某些条件给出有关选择指令。

（2）测头管理和零件管理。如测头定义或再校正、数控机床厂临时零点定义、数学找正、建立永久原点等。

（3）测量的循环。①定位，使测头在进入下一采样点前，先进入定位点(使测头接近采样点时可避免碰撞工件的位置)；②采样处理，包括预备指令和操作指令，如测孔指令前先给出采样点数、孔的轴线理论坐标及直径等参数的指令；③测量值的处理；④关闭文件，结束整个测量过程。